晶圆自动光学检测（AOI）运动系统、 面板检测运动系统、

广东粤极科技有限责任公司于2023年10月在广州成立，是上海隐冠半导体技术有限公司的全资子公司。公司将进一步整合超精密运动及控制的技术优势，重点布局在半导体晶圆自动光学检测（AOI）运动系统、面板检测运动系统、钙钛矿电池涂布系统、钙钛矿电池检测运动系统、面板涂布系统五个核心细分赛道的研发攻关，全面开拓华南、华中乃至全国的市场。

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