沈阳芯源微电子设备股份有限公司半导体生产设备、 LED生产设备、 涂胶机、 显影机、 喷胶机、 去胶机、 湿法刻蚀机、 单片清洗机、 擦片机、 应用于半导体生产、 先进封装、 MEMS、 LED、 OLED、 3D、 IC、 TSV、 PV等领域、

沈阳芯源微电子设备股份有限公司由中科院沈阳自动化研究所于2002年底发起创立，公司座落在沈阳市浑南高新技术产业开发区，拥有高等级净化厂房和一流的研发办公环境，已通过ISO9001质量体系、ISO14001环境体系、OHSAS18001职业健康与安全体系和SEMI-S2国际产品安全体系认证。

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